项目金额：265000美元
用户单位：微电子学院
拟采用方式：单一来源采购
生产商名称：Bruker
供应商名称：铂悦进出口贸易（香港）有限公司
外贸代理机构名称：四川拓加电子商务股份有限公司
使用人及联系电话：孙海定 13306673917
公示期：2019/9/5—2019/9/13
若有异议，请在公示期内与校内采购管理部门联系：
张慧人联系电话：0551-63602345；Email:zhanghr@ustc.edu.cn
学校纪委办公室、监察处：0551-63602591
采购理由：
1. 研究需求：目前微电子学院主要研究基于氮化物、氧化物的半导体器件及新型半导体材料与器件。需要对相关材料的纳米结构、光、电、磁等各方面特性进行表征。
在上述研究中，需要对纳米器件及纳米材料进行微区高分辨的电学特性表征、物性表征和原位连续电压I-V和C-V特性测试，分析器件的电学性能及结构与工作电压的关系；同时需要对光敏感材料在光照下和常态下的电学特性进行测试和分析。
基于上述需求，迫切需要一台具备上述多功能的原子力显微镜来满足对半导体材料、纳米器件的微区原位高分辨电、光学性能表征。
2. 学校现有AFM设备及其他品牌设备无法满足需求，经过调研发现，中科大所有院系，包括理化测试中心，所有的AFM都无法实现光电流测试功能，无法支持外加光测试条件下，对材料进行高分辨电学及力学特性表征。Bruker原子力显微镜Dimension Icon作为在半导体材料和器件测试领域常用的测试分析工具，是唯一能够在外加光模式下精确测量和表征微区皮安级电流、原位实现不同电压下器件的导电特性、同时实现微区高分辨C-V特性测试及载流子浓度测试的综合解决方案。
3. 该设备的独特功能：（1）定制化原位高分辨光电流测试：在光照下和没有光照下，一次扫描，原位得到材料的高分辨电学、光学及力学性能。这是目前国内高校所购买的原子力显微镜无法实现的（功能独特性及应用案例详细描述在单一来源采购协商记录）。
（2）原位实现不同电压下的高分辨导电及力学性能（功能独特性及应用案例详细描述在单一来源采购协商记录）。
（3）原位测量不同电压下载流子掺杂及分布情况，微电子学院急需该设备用于展开相关课题研究（功能独特性及应用案例详细描述在单一来源采购协商记录）。
综上所述，拟采购的Bruker Dimension Icon具有如下特点：1）高分辨原位测试；2）加光与常态情况下，原位测量I-V及C-V特性；3）光电流测试功能，可实现光敏感材料的高分辨电学特性表征；4）可扩展的配置和定制化的测试开发能力；5）灵活的测试软件和数据处理能力等。
专家们对拟购买的Bruker原子力显微镜Dimension Icon进行了讨论和分析，并对其主要功能和性能指标进行了多次深入探讨，一致认为，鉴于Dimension Icon具有上述丰富的测量功能、高系统集成度和自动化度等特点，目前只有Bruker的Dimension Icon原子力显微镜能满足科学研究需求。
